高速マイクロホール穴あけ機

高速マイクロマシニング機器

SFP1313レーザー高速マイクロ加工装置は回転多角形ミラーベースの2次元走査です。マイクロ構造化プロセス。表面処理の速度を大幅に向上させます。マイクロホール加工のための高効率かつ高速の絶対的な利点があります。

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高速マイクロマシニング機器の技術的なパラメータ

モデル	SFP1313
機械サイズ（mm）	2090×1820×2000
ワークベンチサイズ（mm）	400×400
レーザーパワー出力（W）	500
レーザー波長（nm）	1064
レーザーパルス幅（NS）	30/60/120/240
レーザー周波数（KHz）	2000/1000/500/500
集束スポットの直径（μm）	≤40
有効焦点距離（mm）	420
走査範囲（mm）	300×300
スキャン速度（M / S）	≤600m/ s
走査線周波数（Hz）	1600
走査繰り返し位置決め精度（μm）	±3μm
処理方法	線形モード、ドットマトリックスモード、 BMPモード
位置決め方法	ポリゴンミラースキャナはメカニカルシャフトと一致しています

高速マイクロホール掘削機の加工厚さ

レーザーパワー	レーザーパルス繰り返し率	走査速度	材料	厚さ
500W	500kHz	50m / s-500m / s	ステンレス鋼	10μm~300μm
500W	500kHz	50m / s-500m / s	チタンアロイ	10μm~300μm
500W	500kHz	50m / s-500m / s	ジルコニウムアロイ	10μm~300μm
500W	500kHz	50m / s-500m / s	シリコンチップ	0.1mm
500W	500kHz	50m / s-500m / s	アルミニウム合金	0.15mm

マイクロマシニング装置の処理方法

レーザー格子走査	レーザーリニアスキャン	高速BMPビットマップ処理
レーザー掘削	レーザーリニアカット	----
高密度マイクロホールアレイ処理	レーザービーム溝	----

コアテック

自己開発ポリゴンスキャナー

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信じられないほど速いです

ポリゴンスキャナの走査速度は、ガルボスキャナの約30~100倍高い。
優れた正確さ

低い歪みと高精度で大きな面積で2次元走査を実現します。
RFPGAによるEAL-TIMEデータ処理

FPGA制御システムは、ポリゴンミラーパルスの高速同期走査を実現するのに役立ちます。
知識ベース

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高速マイクロマシニング機器の特徴

1

走査速度は前例のない600m / sに達することがあります。

2

高速位置決め精度±5μm：高速ポリゴンミラーの独自の設計により、走査歪みが低減され、繰り返し位置決め精度が保証されます。マイクロマシニング中の穴の位置にずれはありません。

3

FPGA制御システムは、スポットの再現性を確実にすることができるレーザおよび走査位置情報をトリガするための独自の同期機能を提供する。

4

ワークベンチとビームは、機械全体を耐久性にするための大理石で作られており、優れた精度を維持します。大きな走査領域を実現するための外部加工軸の統合制御。

マイクロホール加工の応用

レーザー高速マイクロマシニング装置は、構造化ウェーハの穴あけ、穿孔、微細構造、マイクロマシニングから広く適用されています。

タッチスクリーン表面または太陽電池、電子部品のマイクロ穴あけおよび加工、ガラスおよびプラスチックの加工、ならびにセンサー製造、最先端学際的研究など。

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